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    TOPCon高效電池管式PECVD設備陶瓷零件

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    等離子體增強型化學氣象沉積(PECVD)技術依靠等離子電場硅烷解離,沉膜速率快,摻雜效率高定向沉積,繞鍍輕微,成品率高低溫工藝,腐蝕性附產物少,耗材成本低
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