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    TOPCon高效電池管式PECVD設備陶瓷零件

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    等離子體增強型化學氣象沉積（PECVD）技術依靠等離子電場硅烷解離，沉膜速率快，摻雜效率高定向沉積，繞鍍輕微，成品率高低溫工藝，腐蝕性附產物少，耗材成本低
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