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    HJT高效電池PECVD非晶硅薄膜設備陶瓷零件

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    低成本、大產能鏈式靜態鍍膜設計/鍍膜工藝間距可調/鍍膜順序靈活可調大產能設計,基于166硅片10000片/小時以上產能,兼容156-210硅片,成本比較低RF+RPSC雙電源設計,確保鍍膜和自清潔互不干擾,各自工作在較佳狀態配套自主設計的高精度自動化傳輸設備
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